《微传感器：原理、技术及应用》高清文字版
基本信息
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内容介绍
目录:
第1章绪 论12
1.1 传感器的分类14
1.2 传感器的理想特性和实际限制16
1.3 传感器的信号获取及接口23
1.3.1 电阻、电容及电感的测量24
1.3.2 接口电路30
1.3.3 频率转换32
1.3.4 数字传输33
第2章机械微传感器38
2.1 机械微传感器的测试参量38
2.2 硅微结构的机械性能38
2.3 位移微传感器41
2.3.1 基本概念41
2.3.2 电容和电感式位移微传感器41
2.3.3 光学位移微传感器41
2.3.4 超声波位移微传感器42
2.3.5 热电及其他位移微传感器43
2.3.6 小结43
2.4 速度和流速微传感器43
2.4.1 基本概念43
2.4.2 热式流速微传感器44
2.4.3 电容式流量微传感器47
2.4.4 共振微桥式流量微传感器47
2.5 加速度微传感器48
2.5.1 基本概念48
2.5.2 压阻式微加速度计51
2.5.3 电容和力平衡式微加速度计52
2.5.4 性能比较53
2.6 力、压强和应变微传感器54
2.6.1 基本概念54
2.6.2 力微传感器55
2.6.3 应力敏感的电子器件56
2.6.4 压强微传感器57
2.6.5 应变微传感器58
2.7 质量微传感器60
2.7.1 基本概念60
2.7.2 压电式质量微传感器60
2.7.3 表面声波谐振微传感器61
2.8 其他机械参数的测试62
2.8.1 粗糙度与形状62
2.8.2 粘度与密度63
2.8.3 声与超声微传感器64
第3章热微传感器67
3.1 引言67
3.2 基本概念及定义68
3.2.1 基本术语68
3.2.2 热交换的形式70
3.3 非接触温度测量72
3.4 热机械传感器73
3.5 热敏电阻76
3.5.1 热阻效应76
3.5.2 金属热敏电阻77
3.5.3 半导体热敏电阻79
3.6 热二极管83
3.6.1 基本原理83
3.6.2 集成的热二极管86
3.7 热晶体管87
3.7.1 基本原理87
3.7.2 集成的热晶体管87
3.8 热电偶88
3.9 其他电测量的热微传感器93
3.9.1 热开关93
3.9.2 微热量计93
3.10 其他非电测量的热微传感器94
3.10.1 温度计94
3.10.2 温度指示器和光纤传感器94
3.10.3 表面声波温度微传感器95
3.11 性能比较和商品器件97
3.11.1 常用热微传感器的性能比较97
3.11.2 热微传感器商品98
第4章磁微传感器100
4.1 霍尔效应器件101
4.1.1 霍尔效应和霍尔器件的工作原理101
4.1.2 霍尔传感器的设计及霍尔材料105
4.1.3 MOS霍尔片107
4.1.4 集成霍尔器件108
4.2 半导体磁阻效应及其器件110
4.3 磁敏二极管和磁敏三极管112
4.3.1 磁敏二极管112
4.3.2 磁敏三极管114
4.4 磁通门微磁强计117
4.5 隧道效应磁强计123
4.6 超导量子干涉磁强计125
4.7 磁阻和巨磁电阻材料及其器件129
4.7.1 磁阻效应器件129
4.7.2 巨磁电阻传感器134
第5章 光微传感器与辐射微传感器145
5.1 概述145
5.1.1 核辐射与电磁辐射145
5.1.2 辐射的度量148
5.1.3 辐射传感器的分类149
5.2 核辐射微传感器149
5.2.1 基于电离的探测器149
5.2.2 闪烁探测器150
5.2.3 直接固态辐射探测器150
5.2.4 其他的探测器类型153
5.3 光学微传感器153
5.3.1 概述153
5.3.2 直接光学微传感器155
5.3.3 间接光学微传感器170
5.3.4 生物光学微传感器178
第6章声波微传感器185
6.1 引言185
6.1.1 声波技术和压电效应185
6.1.2 声波的传播185
6.2 用于声波传感器的压电材料189
6.2.1 压电体材料189
6.2.2 压电薄膜材料193
6.3 声波的探测196
6.4 声波微传感器的类型198
6.4.1 体声波微传感器198
6.4.2 表面声波微传感器200
6.5 实用的声波微传感器207
6.5.1 加速度微传感器207
6.5.2 温度微传感器209
6.5.3 压力微传感器209
6.5.4 扭矩微传感器210
6.5.5 质量(重量)微传感器211
6.5.6 露点(湿度)微传感器212
6.5.7 化学蒸气微传感器212
6.5.8 生物微传感器222
第7章化学生物微传感器228
7.1 化学生物微传感器的一些基本概念228
7.1.1 化学生物微传感器的定义228
7.1.2 生物化学传感器的分类228
7.2 电阻式化学微传感器231
7.2.1 引言231
7.2.2 金属氧化物气体传感器231
7.2.3 有机材料气体微传感器234
7.3 化学电容器235
7.4 化学二极管236
7.4.1 无机肖特基器件236
7.4.2 有机肖特基器件237
7.5 化学三极管238
7.5.1 金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)气体传感器238
7.5.2 离子选择场效应晶体管(ISFETs)239
7.6 热化学微传感器240
7.6.1 电热调节器240
7.6.2 Pellistor气体传感器242
7.6.3 热电偶气体传感器244
7.7 质量敏感型化学微传感器244
7.7.1 压电型器件244
7.7.2 表面声波(SAW)生化微传感器245
7.8 化学微传感器的应用246
7.9 化学微传感器最新进展247
第8章 集成传感器、智能传感器及灵巧传感器252
8.1 集成传感器、智能传感器及灵巧传感器的一般定义252
8.2 测量控制系统的组成和功能254
8.2.1 总线结构传感系统254
8.2.2 传感节点结构及界面标准258
8.2.3 传感器的补偿263
8.3 接口电路264
8.3.1 基本模块264
8.3.2 电阻式传感器的接口电路267
8.3.3 电容式传感器的接口电路269
8.4 集成传感器的制备技术270
8.4.1 集成电路制备技术的回顾271
8.4.2 常规技术和要求272
8.5 灵巧传感器的设计275
8.5.1 电路的功能275
8.5.2 集成度278
8.5.3 信号处理的集成278
8.5.4 自校准微传感器279
8.5.5 自测试微传感器280
8.5.6 多功能微传感器280
8.6 灵巧传感器的应用实例281
8.6.1 多元件灵巧气体分析仪281
8.6.2 监测水质的灵巧传感系统286
8.6.3 温控表面声波灵巧气体传感器290
第9章 微传感器阵列及微传感器网络304
9.1 微传感器阵列器件的定义和基本设想304
9.1.1 微传感器阵列器件的定义304
9.1.2 阵列传感器的功能305
9.2 辐射阵列传感器309
9.2.1 热阵列传感器309
9.2.2 光阵列传感器310
9.3 机械阵列传感器315
9.4 磁阵列传感器317
9.5 化学阵列传感器318
9.5.1 基本原理318
9.5.2 气体传感器阵列319
9.5.3 气味传感器阵列320
9.6 微传感器网络322
