《微机电系统》扫描版

基本信息

• 书籍大小：未知
• 书籍语言：简体中文
• 书籍类别：电子通信
• 书籍标签：电子通信
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内容介绍

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	[微机电系统].苑伟政.乔大勇.扫描版.pdf	27.18MB
全选

内容介绍：

全书共分为六章，主要内容包括：MEMS发展历程、MEMS理论基础、MEMS基本工艺技术、MEMS设计技术、典型微器件与微系统和微测试技术等，本书可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用，还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。

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